电致动聚合物驱动的无阀微泵的设计与制作

夏冬梅; 庞宣明; 陈晓南; 李博

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电致动聚合物驱动的无阀微泵的设计与制作

更新时间：2025-07-09

- 电致动聚合物驱动的无阀微泵的设计与制作
- Design and Fabrication for Valveless Micropump Driven by Dielectric Elastomer
- 西安交通大学学报 2009年43卷第7期页码：92-95
- 作者机构：
  
  西安交通大学机械工程学院,西安,710049
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  : 2008-11-25. 作者简介: 夏冬梅(1983-),女,硕士;庞宣明(联系人),男,副教授. 基金项目: 国家高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z350).
- DOI：
  中图分类号： TN4
- 网络首发：2009-07-10，
  
  纸质出版：2009
- 稿件说明：
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夏冬梅, 庞宣明, 陈晓南, 等. 电致动聚合物驱动的无阀微泵的设计与制作[J]. 西安交通大学学报, 2009,43(7):92-95.

Design and Fabrication for Valveless Micropump Driven by Dielectric Elastomer[J]. 2009, 43(7): 92-95.
夏冬梅, 庞宣明, 陈晓南, 等. 电致动聚合物驱动的无阀微泵的设计与制作[J]. 西安交通大学学报, 2009,43(7):92-95. DOI：

Design and Fabrication for Valveless Micropump Driven by Dielectric Elastomer[J]. 2009, 43(7): 92-95. DOI：

摘要

提出了一种由电致动聚合物材料(DE)驱动的平面扩散/收缩管无阀微泵.通过分析扩散/收缩管的角度、长度、最小宽度等关键参数对微泵性能的影响

对无阀微泵的结构进行了设计.基于UV-LIGA工艺

将DE泵膜和SU-8泵体键合制作了无阀微泵的模型

并对DE泵膜结构进行了实验研究

确定了合理的结构形式

实现了微泵的单向泵送.在3 500 V、8 Hz直流正弦电压的作用下

无阀微泵的流量最大

为21.2 μL/min

并且结构简单、易于密封、成本低.实验结果对电致动聚合物微泵进一步的科学研究和实际应用都具有较大的促进作用.

Abstract

A dielectric elastomer(DE)valveless micropump with plane diffuser/nozzle elements is investigated. The structure of the valveless micropump is designed by analyzing the effects of angle

length

minimum width of the diffuser-nozzle to the diffusivity. Based on UV-LIGA technique

the DE diaphragms and the SU-8 structure are bonded and the valveless micropump is accomplished. A DE diaphragms structure is conformed by experiment to realize the pumping. The maximum flow rate of 21.2 μL/min is achieved under 3 500 V

8 Hz sine wave. The valveless micropump with simple structure and lower cost demonstrates its further application foreground.

关键词

Keywords

references

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